Сұйық азотты тасымалдауға арналған вакуумды оқшауланған құбыр жүйесін өндіру және жобалау жеткізушінің міндеті болып табылады. Бұл жоба үшін, егер жеткізушіде жергілікті жерде өлшеуге жағдайлар болмаса, құбыр бағытының сызбаларын үй беруі керек. Содан кейін жеткізуші сұйық азот жағдайлары үшін VI құбыр жүйесін жобалайды.

Жеткізуші құбыр жүйесінің жалпы жобалауын тәжірибелі дизайнерлермен сызбаларға, жабдық параметрлеріне, алаң жағдайларына, сұйық азот сипаттамаларына және сұраныс беруші ұсынған басқа факторларға сәйкес аяқтауы тиіс.

Жобаның мазмұнына жүйелік керек-жарақтардың түрі, ішкі және сыртқы құбырлардың материалы мен сипаттамаларын анықтау, оқшаулау схемасын жобалау, алдын ала дайындалған қима схемасы, құбыр бөліктері арасындағы қосылым формасы, ішкі құбыр кронштейні, вакуумдық клапанның саны мен орналасуы, газ тығыздағышын алып тастау, терминалдық жабдықтың криогендік сұйықтыққа қойылатын талаптары және т.б. кіреді. Бұл схеманы өндіріс алдында сұраныс берушінің кәсіби қызметкерлері тексеруі керек.

Вакуумдық оқшауланған құбыр жүйесінің дизайнының мазмұны кең, мұнда HASS қолданбалары мен MBE жабдықтары кейбір кең таралған мәселелерде қарапайым әңгімелеседі.

VI Құбырлар

Сұйық азотты сақтау ыдысы әдетте HASS қолданбасынан немесе MBE жабдықтарынан ұзын болады. Вакуумды оқшауланған құбыр ғимараттың ішіне кіргенде, оны ғимараттағы бөлменің орналасуына және далалық құбыр мен ауа өткізгіштің орналасуына сәйкес болдырмау керек. Сондықтан, сұйық азотты жабдыққа кемінде жүздеген метр құбыр тасымалдау керек.

Сығылған сұйық азоттың өзінде тасымалдау қашықтығымен бірге көп мөлшерде газ болғандықтан, тіпті вакуумдық адиабаталық құбыр да тасымалдау процесінде көп мөлшерде азот өндіреді. Егер азот шығарылмаса немесе шығарындылар талаптарға сай келмейтіндей төмен болса, бұл газға төзімділікті тудырады және сұйық азоттың нашар ағынына әкеледі, бұл ағын жылдамдығының айтарлықтай төмендеуіне әкеледі.

Егер ағын жылдамдығы жеткіліксіз болса, жабдықтың сұйық азот камерасындағы температураны басқару мүмкін емес, бұл сайып келгенде жабдықтың немесе өнім сапасының бұзылуына әкелуі мүмкін.

Сондықтан, терминалдық жабдық (HASS Application немесе MBE жабдығы) пайдаланатын сұйық азот мөлшерін есептеу қажет. Сонымен қатар, құбырдың сипаттамалары құбырдың ұзындығы мен бағытына сәйкес анықталады.

Сұйық азот сақтау ыдысынан бастап, егер вакуумдық оқшауланған құбырдың/шлангтың негізгі құбыры DN50 (ішкі диаметрі φ50 мм) болса, оның VI тармақталған құбыры/шлангісі DN25 (ішкі диаметрі φ25 мм), ал тармақталған құбыр мен терминалдық жабдық арасындағы шланг DN15 (ішкі диаметрі φ15 мм) болады. VI құбыр жүйесіне арналған басқа арматуралар, соның ішінде фазалық бөлгіш, газсыздандырғыш, автоматты газ желдеткіші, VI/криогенді (пневматикалық) өшіру клапаны, VI пневматикалық ағынды реттейтін клапан, VI/криогенді тексеру клапаны, VI сүзгісі, қауіпсіздікті қамтамасыз ететін клапан, тазарту жүйесі және вакуумдық сорғы және т.б.

MBE арнайы фазалық бөлгіші

Әрбір MBE арнайы қалыпты қысымды фазалық сепараторының келесі функциялары бар:

1. Сұйықтық деңгейінің датчигі және автоматты сұйықтық деңгейін басқару жүйесі, және электрлік басқару қорабы арқылы дереу көрсетіледі.

2. Қысымды төмендету функциясы: сепаратордың сұйықтық кірісі сепаратордың қосалқы жүйесімен жабдықталған, бұл негізгі құбырдағы сұйық азот қысымын 3-4 бар деңгейінде қамтамасыз етеді. Фазалық сепараторға кірген кезде қысымды ≤ 1 Барға дейін біртіндеп төмендетіңіз.

3. Сұйықтықтың кіріс ағынын реттеу: фазалық бөлгіштің ішінде қалқымалылықты басқару жүйесі орнатылған. Оның функциясы сұйық азотты тұтыну артқанда немесе азайғанда сұйықтықтың қабылдану мөлшерін автоматты түрде реттеу болып табылады. Бұл кіріс пневматикалық клапаны ашылған кезде көп мөлшерде сұйық азоттың кіруінен туындайтын қысымның күрт ауытқуын азайту және артық қысымның алдын алу артықшылығына ие.

4. Буферлік функция, бөлгіш ішіндегі тиімді көлем құрылғының максималды лездік ағынын қамтамасыз етеді.

5. Тазарту жүйесі: сұйық азот өткенге дейін сепаратордағы ауа ағыны мен су буы, ал сұйық азот өткеннен кейін сепаратордағы сұйық азоттың ағуы.

6. Артық қысымды автоматты түрде жою функциясы: Жабдық сұйық азот арқылы бастапқыда өткенде немесе ерекше жағдайларда сұйық азоттың газдануының жоғарылауына әкеледі, бұл бүкіл жүйенің бірден артық қысымына әкеледі. Біздің фазалық бөлгішіміз қауіпсіздікті босату клапанымен және қауіпсіздікті босату клапандары тобымен жабдықталған, бұл бөлгіштегі қысымның тұрақтылығын тиімдірек қамтамасыз етеді және MBE жабдығының шамадан тыс қысымнан зақымдалуының алдын алады.

7. Сұйықтық деңгейі мен қысым мәнін нақты уақыт режимінде көрсететін электрлік басқару блогы сепаратордағы сұйықтық деңгейін және сұйық азот мөлшерін басқару қатынасына орната алады. Сонымен қатар, төтенше жағдайда, газ сұйық сепараторын сұйықтықты басқару клапанына қолмен тежеу, бұл учаске қызметкерлері мен жабдықтардың қауіпсіздігіне кепілдік береді.

HASS қолданбаларына арналған көп ядролы дегазатор

Сыртқы сұйық азот сақтау ыдысында қысыммен сақталатын және тасымалданатындықтан, азоттың көп мөлшері бар. Бұл жүйеде құбырларды тасымалдау қашықтығы ұзағырақ, иінтіректері көбірек және кедергісі жоғарырақ, бұл сұйық азоттың ішінара газдануына әкеледі. Вакуумдық оқшауланған түтік қазіргі уақытта сұйық азотты тасымалдаудың ең жақсы тәсілі болып табылады, бірақ жылудың ағуы сөзсіз, бұл сұйық азоттың ішінара газдануына да әкеледі. Қорытындылай келе, сұйық азотта азоттың көп мөлшері бар, бұл газға төзімділіктің пайда болуына әкеледі, нәтижесінде сұйық азоттың ағыны тегіс болмайды.

Вакуумдық оқшауланған құбырдағы шығару жабдығы, егер шығару құрылғысы болмаса немесе шығару көлемі жеткіліксіз болса, газға төзімділікке әкеледі. Газға төзімділік пайда болғаннан кейін сұйық азотты тасымалдау қабілеті айтарлықтай төмендейді.

Біздің компаниямыз арнайы әзірлеген көп ядролы газсыздандырғыш негізгі сұйық азот құбырынан азоттың максималды түрде шығарылуын қамтамасыз ете алады және газға төзімділіктің пайда болуына жол бермейді. Ал көп ядролы газсыздандырғыштың ішкі көлемі жеткілікті, буферлік сақтау ыдысының рөлін атқара алады, ерітінді құбырының максималды лездік ағынының қажеттіліктерін тиімді қанағаттандыра алады.

Бірегей патенттелген көп ядролы құрылым, басқа сепаратор түрлеріне қарағанда тиімдірек шығару қуаты.

Алдыңғы мақаланы жалғастыра отырып, чип өнеркәсібінде криогендік қолдану үшін вакуумдық оқшауланған құбыр жүйесіне арналған шешімдерді жобалау кезінде ескеру қажет кейбір мәселелер бар.

Вакуумдық оқшауланған құбыр жүйесінің екі түрі

Вакуумдық оқшауланған құбыр жүйесінің екі түрі бар: статикалық VI жүйесі және динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі.

Статикалық VI жүйесі әрбір құбыр зауытта жасалғаннан кейін, ол сорғы қондырғысында көрсетілген вакуум дәрежесіне дейін шаңсорғышпен сорылып, тығыздалатынын білдіреді. Далалық орнату және пайдалануға беру кезінде белгілі бір уақыт ішінде оны алаңға қайта эвакуациялаудың қажеті жоқ.

Static VI жүйесінің артықшылығы - техникалық қызмет көрсету шығындарының төмендігі. Құбыр жүйесі пайдалануға берілгеннен кейін бірнеше жылдан кейін техникалық қызмет көрсету қажет. Бұл вакуумдық жүйе жоғары салқындату талаптарын қажет етпейтін және жергілікті жерде техникалық қызмет көрсету үшін ашық орындарды қажет етпейтін жүйелерге жарамды.

Статикалық VI жүйесінің кемшілігі - вакуум уақыт өте келе азаяды. Өйткені барлық материалдар үнемі микроэлемент газдарын шығарады, бұл материалдың физикалық қасиеттерімен анықталады. VI құбырының қабығындағы материал процесс кезінде бөлінетін газ мөлшерін азайтуы мүмкін, бірақ оны толығымен оқшаулау мүмкін емес. Бұл вакуумның тығыздалған вакуумдық ортаға түсуіне әкеледі, вакуумдық оқшаулағыш түтіктің салқындату қабілетін біртіндеп әлсіретеді.

Динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі дегеніміз, құбыр жасалғаннан және пішінделгеннен кейін де, құбыр зауытта ағып кетуді анықтау процесіне сәйкес әлі де вакууммен сорылып алынады, бірақ вакуум жеткізілмес бұрын тығыздалмайды. Далалық орнату аяқталғаннан кейін, барлық құбырлардың вакуумдық қабаттары тот баспайтын болаттан жасалған шлангтар арқылы бір немесе бірнеше блокқа қосылуы керек, ал далалық жерде құбырларды шаңсорғышпен сору үшін шағын арнайы вакуумдық сорғы пайдаланылуы керек. Арнайы вакуумдық сорғыда кез келген уақытта вакуумды бақылауға және қажет болған жағдайда шаңсорғышпен соруға арналған автоматты жүйе бар. Жүйе тәулік бойы жұмыс істейді.

Динамикалық вакуумдық сорғы жүйесінің кемшілігі - вакуумды электр қуатымен ұстап тұру қажет.

Динамикалық вакуумдық сорғы жүйесінің артықшылығы - вакуум дәрежесі өте тұрақты. Ол өте жоғары жобалардың вакуумдық өнімділік талаптары мен ішкі ортада қолданылады.

Біздің динамикалық вакуумдық сорғы жүйеміз, жабдықтардың шаңсорғышпен тазалануын қамтамасыз ететін тұтастай мобильді интеграцияланған арнайы вакуумдық сорғы, шаңсорғыштың әсерін қамтамасыз ету үшін ыңғайлы және ақылға қонымды орналасу, шаңсорғыштың сапасын қамтамасыз ету үшін вакуумдық аксессуарлардың сапасы.

MBE жобасы үшін, себебі жабдық таза бөлмеде орналасқан және жабдық ұзақ уақыт жұмыс істейді. Вакуумдық оқшауланған құбыр жүйесінің көп бөлігі таза бөлменің аралық қабатындағы жабық кеңістікте орналасқан. Болашақта құбыр жүйесіне вакуумдық техникалық қызмет көрсетуді жүзеге асыру мүмкін емес. Бұл жүйенің ұзақ мерзімді жұмысына айтарлықтай әсер етеді. Нәтижесінде, MBE жобасында динамикалық вакуумдық сорғы жүйесінің барлығы дерлік қолданылады.

Қысымды төмендету жүйесі

Магистральдық желінің қысымды төмендету жүйесі қауіпсіздікті төмендететін клапандар тобын пайдаланады. Қауіпсіздікті төмендететін клапандар тобы қысым шамадан тыс болған кезде қауіпсіздікті қорғау жүйесі ретінде қолданылады, VI Құбырларды қалыпты пайдалану кезінде реттеу мүмкін емес.

Қауіпсіздікті босату клапаны құбыр жүйесінің шамадан тыс қысымға ұшырамауын және қауіпсіз жұмыс істеуін қамтамасыз ететін негізгі компонент болып табылады, сондықтан ол құбырды пайдалануда өте маңызды. Бірақ қауіпсіздік клапаны ережеге сәйкес жыл сайын тексеруге жіберілуі керек. Бір қауіпсіздік клапаны пайдаланылып, екіншісі дайындалған кезде, бір қауіпсіздік клапаны алынып тасталған кезде, екінші қауіпсіздік клапаны құбырдың қалыпты жұмысын қамтамасыз ету үшін құбыр жүйесінде болады.

Қауіпсіздікті босату клапандары тобында екі DN15 қауіпсіздікті босату клапаны бар, біреуі пайдалануға, екіншісі күтуге арналған. Қалыпты жұмыс кезінде VI құбыр жүйесіне тек бір қауіпсіздікті босату клапаны қосылған және қалыпты жұмыс істейді. Басқа қауіпсіздікті босату клапандары ішкі құбырдан ажыратылған және кез келген уақытта ауыстырылуы мүмкін. Екі қауіпсіздік клапаны бүйірлік клапанның ауысу күйі арқылы қосылған және ажыратылған.

Қауіпсіздікті босату клапандары тобы құбыр жүйесінің қысымын кез келген уақытта тексеруге арналған манометрмен жабдықталған.

Қауіпсіздікті босату клапаны тобы шығару клапанымен жабдықталған. Оны үрлеу кезінде құбырдағы ауаны шығару үшін пайдалануға болады, ал сұйық азот жүйесі жұмыс істеп тұрған кезде азотты шығаруға болады.

HL криогендік жабдықтары

1992 жылы құрылған HL Cryogenic Equipment компаниясы Қытайдағы Chengdu Holy Cryogenic Equipment компаниясымен байланысты бренд болып табылады. HL Cryogenic Equipment компаниясы жоғары вакуумды оқшауланған криогендік құбыр жүйесін және онымен байланысты тірек жабдықтарын жобалау мен өндіруге міндеттенеді.

Бүгінгі тез өзгеріп жатқан әлемде тұтынушылар үшін шығындарды үнемдеуді барынша арттыра отырып, озық технологияларды ұсыну қиын міндет болып табылады. 30 жыл бойы HL Cryogenic Equipment Company барлық дерлік криогендік жабдықтар мен салаларда қолдану саласына тереңірек еніп, бай тәжірибе мен сенімділікке ие болды, сонымен қатар өмірдің барлық салаларындағы соңғы жаңалықтарды үнемі зерттеп, ілесіп отыруға тырысып, тұтынушыларға жаңа, практикалық және тиімді шешімдер ұсынып, тұтынушыларымызды нарықта бәсекеге қабілетті етуге тырысты.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .