Сұйық азотты салқындату жүйелері жартылай өткізгіш және чип өнеркәсібінде кеңінен қолданылады, соның ішінде:
- Молекулярлық сәулелік эпитаксия технологиясы (MBE)
- COB пакетінен кейінгі чип сынағы
Қатысты өнімдер
Вакуумдық оқшауланған құбырлар сериясы
Вакуумды оқшауланған икемді шланг сериясы
Динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі
Вакуумдық оқшауланған фазалық сепараторлар сериясы
Вакуумды оқшауланған клапандар сериясы
Құбыр жүйесін қолдау жабдығы
МОЛЕКУЛАЛЫҚ СҰҚҚАЛЫҚ ЭПИТАКСИЯ
Молекулярлық сәулелік эпитаксия (MBE) технологиясы 1950 жылдары вакуумды булану технологиясын қолдана отырып, жартылай өткізгішті жұқа үлбірлі материалдарды дайындау үшін жасалған. Ультра жоғары вакуумдық технологияның дамуымен технологияны қолдану жартылай өткізгіш ғылым саласына дейін кеңейтілді.
HL көптеген кәсіпорындарда, университеттерде және ғылыми-зерттеу институттарында қолданылған MBE сұйық азотты салқындату жүйесіне, MBE технологиясы үшін арнайы MBE сұйық азотты салқындату жүйесін және вакуумды оқшауланған құбырлар жүйесінің толық жиынтығын сәтті әзірлеу үшін ұйымдастырылған техникалық магистральға сұранысты байқады. .
Жартылай өткізгіш және чип өнеркәсібінің жалпы мәселелеріне мыналар жатады:
- Терминал (MBE) жабдығына сұйық азоттың қысымы. Терминал (MBE) жабдығының зақымдануынан қысымның шамадан тыс жүктелуін болдырмаңыз.
- Бірнеше криогендік сұйықтықтың кіріс және шығыс басқару элементтері
- Сұйық азоттың терминалдық жабдықтағы температурасы
- Криогенді газ шығарындыларының ақылға қонымды мөлшері
- (Автоматты) Магистральдық және тармақтық желілерді ауыстыру
- Қысымды реттеу (төмендету) және VIP тұрақтылығы
- Ықтимал қоспалар мен мұз қалдықтарын резервуардан тазарту
- Терминалды сұйықтық жабдығын толтыру уақыты
- Құбырды алдын ала салқындату
- VIP жүйесіндегі сұйықтыққа төзімділік
- Жүйенің үздіксіз қызмет көрсетуі кезінде сұйық азоттың жоғалуын бақылау
HL вакуумдық оқшауланған құбыры (VIP) стандарт ретінде ASME B31.3 қысымды құбырлар кодына сай жасалған. Тапсырыс беруші зауытының тиімділігі мен үнемділігін қамтамасыз ету үшін инженерлік тәжірибе және сапаны бақылау мүмкіндігі.
ШЕШІМДЕР
HL Cryogenic Equipment тұтынушыларға жартылай өткізгіш және чип өнеркәсібінің талаптары мен шарттарын қанағаттандыру үшін вакуумдық оқшауланған құбырлар жүйесін ұсынады:
1.Сапаны басқару жүйесі: ASME B31.3 Қысымды құбырлар коды.
2. Автоматты басқару функциясы бар бірнеше криогенді сұйықтықтың кірісі мен шығысы бар арнайы фазалық сепаратор газ эмиссиясы, қайта өңделген сұйық азот және сұйық азот температурасы талаптарына сәйкес келеді.
3. Адекватты және уақтылы шығару дизайны терминалдық жабдықтың әрқашан жобаланған қысым мәнінде жұмыс істеуін қамтамасыз етеді.
4. Газ-сұйықтық тосқауыл VI құбырдың соңында тік VI құбырға орналастырылған. Газ-сұйықтық тосқауылы VI құбырының соңынан VI құбырына жылуды блоктау және жүйенің үзіліссіз және үзіліссіз қызмет көрсету кезінде сұйық азоттың жоғалуын тиімді азайту үшін газ тығыздау принципін пайдаланады.
5.VI құбырлары вакуумдық оқшауланған клапанмен (VIV) басқарылады: соның ішінде вакуумдық оқшауланған (пневматикалық) өшіру клапаны, вакуумдық оқшауланған тексеру клапаны, вакуумдық оқшауланған реттеуші клапан және т.б. VIV-тің әртүрлі түрлері VIP-ті басқару үшін модульдік біріктірілуі мүмкін. қажет. VIV өндірушіде VIP дайындаумен біріктірілген, оқшауланған өңдеусіз. VIV тығыздағыш бөлігін оңай ауыстыруға болады. (HL тұтынушылар белгілеген криогендік клапан брендін қабылдайды, содан кейін HL арқылы вакуумды оқшауланған клапандар жасайды. Кейбір брендтер мен клапан үлгілері вакуумды оқшауланған клапандарға айналмауы мүмкін.)
6.Тазалық, егер ішкі түтік бетінің тазалығына қосымша талаптар болса. Тот баспайтын болаттан төгілуді одан әрі азайту үшін тұтынушыларға VIP ішкі құбырлар ретінде BA немесе EP баспайтын болаттан жасалған құбырларды таңдау ұсынылады.
7.Вакуумды оқшауланған сүзгі: резервуардағы ықтимал қоспалар мен мұз қалдықтарын тазалаңыз.
8.Бірнеше күн немесе одан да көп уақытты өшіру немесе техникалық қызмет көрсетуден кейін криогендік сұйықтық VI құбырына және терминалдық жабдыққа тікелей түскеннен кейін мұз қожын болдырмау үшін криогендік сұйықтық кірмес бұрын VI құбырлары мен терминалдық жабдықты алдын ала суыту өте қажет. Жобалауда алдын ала салқындату функциясын ескеру қажет. Ол терминалдық жабдықты және клапандар сияқты VI құбырды қолдау жабдықтарын жақсырақ қорғауды қамтамасыз етеді.
9. Динамикалық және статикалық вакуумды оқшауланған (икемді) құбырлар жүйесіне сәйкес келеді.
10.Динамикалық вакуумды оқшауланған (икемді) құбыр жүйесі: VI икемді шлангтардан және/немесе VI құбырдан, секіргіш шлангтардан, вакуумдық оқшауланған клапан жүйесінен, фазалық сепараторлардан және динамикалық вакуумдық сорғы жүйесінен (вакуумдық сорғыларды, электромагниттік клапандарды және вакуумдық газдарды және т.б.) тұрады. ). Жалғыз VI икемді шлангтың ұзындығын пайдаланушы талаптарына сәйкес реттеуге болады.
11.Әртүрлі қосылым түрлері: вакуумдық тірек қосылымы (VBC) түрі және дәнекерленген қосылым таңдауға болады. VBC түрі орнында оқшауланған өңдеуді қажет етпейді.
