Сұйық азот салқындату жүйелері жартылай өткізгіш және чип индустриясында кеңінен қолданылады, оның ішінде процесс,
- Молекулалық сәуле эпитаксиінің технологиясы (MBE)
- CHIP тесті COB пакетінен кейін
Байланысты өнімдер
Вакуумды оқшауланған құбыр сериясы
Вакуумды оқшауланған иілгіш шланг сериясы
Динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі
Вакуумды оқшауланған фазалық сепаратор сериясы
Вакуумдық оқшауланған клапан сериясы
Құбыр жүйесін қолдау жабдықтары
Молекулалық сәулелер эпитаксиі
1950 жылдары молекулалық сәуле (MBE) технологиясы вакуумды булану технологиясын қолдана отырып, жартылай өткізгіштің жұқа кинофильмдерін дайындау үшін жасалды. Ультра жоғары вакуумдық технологияның дамуымен технологияны қолдану жартылай өткізгіш ғылым саласына таралды.
HL MBE сұйық азот жүйесінің сұранысын байқады, бұл көптеген кәсіпорындарда, университеттерде және ғылыми-зерттеу институттарында қолданылған вакуумдық құбырлармен қамтамасыз етілген сұйық азотпен жабдықтау жүйесін және вакуумдық құбырлар жүйесінің толық жиынтығын сәтті өткізді. .
Жартылай өткізгіш пен чип индустриясының жалпы мәселелері,
- Сұйық азоттың терминал (MBE) жабдыққа қысымы. Қысымның зиянды терминалдан (MBE) жабдықтарынан шамадан тыс жүктеме.
- Бірнеше криогендік сұйық кіріс және шығыс бақылаулары
- Терминал жабдықтарыға сұйық азот температурасы
- Криогендік газ шығарындыларының жеткілікті мөлшері
- (Автоматты) Негізгі және салалық желілерді ауыстыру
- Қысымды реттеу (азайту) және VIP тұрақтылығы
- Цистернадан мүмкін қоспалар мен мұз қалдықтарын тазарту
- Терминал сұйық жабдықтарының толтырылуы
- Құбырдың алдамалы
- VIP жүйесіндегі сұйықтыққа төзімділік
- Жүйенің тоқтатылған қызметі кезінде сұйық азоттың жоғалуы
HL-дің вакуумдық құбыры (VIP) ASME B31.3 қысым құбырының кодтарына стандарт ретінде жасалған. Инженерлік тәжірибе және сапаны бақылау Тапсырыс берушінің өсімдіктің тиімділігі мен тиімділігін қамтамасыз ету мүмкіндігі.
Шешімдер
HL криогендік жабдық клиенттерді вакуумды оқшауланған құбырлармен қамтамасыз етеді Жартылай өткізгіш пен чип индустриясының талаптары мен шарттарына сәйкес келеді:
1.Мұрылықты басқару жүйесі: ASME B31.3 Қысым құбырларының коды.
2.Атрицалық сұйық кірісі бар арнайы фазалық сепаратор және автоматты басқару функциясы бар розетка газдың шығарындылары, қайта өңделген сұйық азотты және сұйық азоттың температурасына сәйкес келеді.
3.Жұғаттау дизайны уақтылы және уақтылы пайдалану терминал жабдық әрқашан жобаланған қысымның ішінде жұмыс істейді.
4. Газдық сұйық тосқауыл VI құбырдың соңында VI VI құбырға орналастырылған. Газ-сұйық тосқауыл VI құбырдың соңынан VI құбырлардың аяғынан бастап, жүйенің тоқтайтын және өткір қызметінде сұйық азот жоғалуын тиімді азайтады және сұйық тосқауылы газдық тығыздағыш принципін қолданады.
5. Вакуумдық ваковтің (VIV) сериялы вакуумдық ваковтің (пневматикалық) оқшауланған клапанымен, вакуумды оқшауланған клапан, вакуумды оқшауланған клапан, вакуумды реттейтін клапан және т.б. қажет. VIV компаниясы өндірушіде VIP префабрикациясымен, оқшауланған емдеусіз біріктірілген. ВИВ-ның тығыздағышты оңай ауыстыруға болады. (HL клиенттер тағайындаған криогендік клапан брендін қабылдайды, содан кейін вакуумды клапандарды HL арқылы жасайды. Кейбір брендтер мен клапан модельдерін оқшауланған клапандардан алуға болмайды.)
6. Егер түтікшенің ішкі тазалығына қосымша талаптар болса, төмендету. Тот баспайтын болаттан жасалған төгілуді одан әрі азайту үшін тұтынушылар БА немесе БӨ-ге арналған бакалаврлық болат құбырларды VIP ішкі құбырлар ретінде таңдау ұсынылады.
7. Бакуум оқшауланған сүзгі: ыдыстан жасалған қоспалар мен мұз қалдықтарын тазалаңыз.
8. Бірнеше күн немесе одан да ұзақ уақыт немесе техникалық қызмет көрсету немесе техникалық қызмет көрсету, криогендік сұйықтық кірмес бұрын, криогендік сұйықтық кірместен бұрын VI құбырлар мен терминал жабдықтары алдын-ала қажет, өйткені криогендік сұйықтық viдық сұйықтыққа тікелей кіреді. Престинг функциясын дизайнда қарастырған жөн. Ол терминалды жабдықтар мен VI құбырларды қолдау жабдықтарын, мысалы, клапандар сияқты жақсы қорғауды қамтамасыз етеді.
9. Динамикалық және статикалық вакуумды оқшауланған (икемді) құбырлар жүйесі үшін.
10. Вакуумдық вакуумнан жасалған (икемді) құбырлар жүйесі: VI икемді шлангтардан және / немесе VI құбырлардан, вакуумдық түтіктерден, вакуумды клапан жүйесінде, фазалық сепараторлардан және динамикалық сорғы жүйелерінен (вакуумдық сорғылар, соленоидты клапандар, соленоидты клапандар мен вакуумдық өлшеуіштер) ). Бірыңғай VI икемді шлангтың ұзындығы пайдаланушының талаптарына сәйкес реттелуі мүмкін.
11. Байланыс түрлері: вакуумдық вайонет қосылымы (VBC) және дәнекерленген қосылымды таңдауға болады. VBC түріне оқшауланған емдеу қажет емес.
