Сұйық азотты салқындату жүйелері жартылай өткізгіштер мен чиптер өнеркәсібінде кеңінен қолданылады, соның ішінде,
- Молекулалық сәулелік эпитаксия (MBE) технологиясы
- COB қаптамасынан кейінгі чипті тексеру
Ұқсас өнімдер
Вакуумдық оқшауланған құбырлар сериясы
Вакуумдық оқшауланған икемді шланг сериясы
Динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі
Вакуумдық оқшауланған фазалық бөлгіш сериясы
Вакуумдық оқшауланған клапан сериясы
Құбыр жүйесін қолдау жабдықтары
Молекулалық сәулелік эпитакси
Молекулалық сәулелік эпитакси (MBE) технологиясы 1950 жылдары вакуумдық булану технологиясын қолдана отырып, жартылай өткізгіш жұқа қабықшалы материалдарды дайындау үшін жасалды. Ультра жоғары вакуумдық технологияның дамуымен технологияны қолдану жартылай өткізгіш ғылым саласына да кеңейтілді.
HL компаниясы MBE сұйық азотты салқындату жүйесіне деген сұранысты, MBE технологиясы үшін арнайы MBE сұйық азотты салқындату жүйесін және көптеген кәсіпорындарда, университеттерде және ғылыми-зерттеу институттарында қолданылған вакуумды оқшауланған құбыр жүйесінің толық жиынтығын сәтті әзірлеу үшін ұйымдастырылған техникалық негізді байқады.
Жартылай өткізгіштер мен чиптер өнеркәсібінің жиі кездесетін мәселелеріне мыналар жатады:
- Сұйық азоттың терминалдық (MBE) жабдыққа қысымы. Терминалдық (MBE) жабдықтың зақымдануынан қысымның шамадан тыс түсуіне жол бермеңіз.
- Бірнеше криогенді сұйықтық кірісі мен шығысын басқару элементтері
- Сұйық азоттың терминалдық жабдыққа түсу температурасы
- Криогенді газ шығарындыларының ақылға қонымды мөлшері
- Негізгі және тармақтық желілерді (автоматты түрде) ауыстыру
- VIP қысымын реттеу (төмендету) және тұрақтылығы
- Бактан ықтимал қоспалар мен мұз қалдықтарын тазалау
- Терминалдық сұйықтық жабдығын толтыру уақыты
- Құбырды алдын ала салқындату
- VIP жүйесіндегі сұйықтыққа төзімділік
- Жүйеге үздіксіз қызмет көрсету кезінде сұйық азоттың жоғалуын бақылау
HL вакуумдық оқшауланған құбыры (VIP) ASME B31.3 қысымды құбырлар кодексіне сәйкес стандарт ретінде жасалған. Тапсырыс берушінің зауытының тиімділігі мен құнын қамтамасыз ету үшін инженерлік тәжірибе және сапаны бақылау мүмкіндігі.
ШЕШІМДЕР
HL Cryogenic Equipment компаниясы жартылай өткізгіштер мен чиптер өнеркәсібінің талаптары мен шарттарына сәйкес келетін вакуумдық оқшауланған құбыр жүйесін ұсынады:
1. Сапа менеджменті жүйесі: ASME B31.3 Қысым құбырларының коды.
2. Автоматты басқару функциясы бар бірнеше криогенді сұйықтық кірісі мен шығысы бар арнайы фазалық сепаратор газ шығарындыларының, қайта өңделген сұйық азоттың және сұйық азоттың температурасының талаптарына сәйкес келеді.
3. Тиісті және уақтылы шығарындыларды жобалау терминалдық жабдықтың әрқашан жобаланған қысым мәнінде жұмыс істейтінін қамтамасыз етеді.
4. Газ-сұйықтық тосқауылы VI құбырының соңындағы тік VI құбырына орналастырылған. Газ-сұйықтық тосқауылы VI құбырының соңынан VI құбырына жылуды бөгеу үшін газ тығыздағышы принципін қолданады және жүйенің үзіліссіз және үзіліссіз қызмет көрсетуі кезінде сұйық азоттың жоғалуын тиімді түрде азайтады.
5.VI Вакуумдық оқшауланған клапан (VIV) сериясымен басқарылатын құбырлар: вакуумдық оқшауланған (пневматикалық) өшіру клапанын, вакуумдық оқшауланған кері клапанды, вакуумдық оқшауланған реттеу клапанын және т.б. қамтиды. Қажет болған жағдайда VIP басқару үшін VIV-тің әртүрлі түрлерін модульдік түрде біріктіруге болады. VIV өндірушіде VIP алдын ала дайындаумен біріктірілген, жергілікті оқшауланған өңдеусіз. VIV тығыздағыш блогын оңай ауыстыруға болады. (HL тұтынушылар белгілеген криогендік клапан брендін қабылдайды, содан кейін HL вакуумдық оқшауланған клапандарды жасайды. Кейбір брендтер мен клапан модельдерін вакуумдық оқшауланған клапандарға айналдыру мүмкін болмауы мүмкін.)
6. Тазалық, егер ішкі түтік бетінің тазалығына қосымша талаптар қойылса. Тұтынушыларға тот баспайтын болаттан жасалған төгінділерді одан әрі азайту үшін VIP ішкі құбырлар ретінде BA немесе EP тот баспайтын болаттан жасалған құбырларды таңдау ұсынылады.
7. Вакуумдық оқшауланған сүзгі: Ыдыстан ықтимал қоспалар мен мұз қалдықтарын тазалаңыз.
8. Бірнеше күн немесе одан да ұзақ уақыт өшіруден немесе техникалық қызмет көрсетуден кейін, криогенді сұйықтық VI құбырлары мен терминалдық жабдықтарына тікелей түскеннен кейін мұз шлактарының пайда болуына жол бермеу үшін криогенді сұйықтық кірмес бұрын VI құбырлары мен терминалдық жабдықтарын алдын ала салқындату өте қажет. Алдын ала салқындату функциясын жобалау кезінде ескеру қажет. Бұл терминалдық жабдықтар мен клапандар сияқты VI құбырларын қолдау жабдықтарын жақсы қорғауды қамтамасыз етеді.
9. Динамикалық және статикалық вакуумдық оқшауланған (икемді) құбыр жүйесіне сәйкес келеді.
10. Динамикалық вакуумдық оқшауланған (икемді) құбыр жүйесі: VI икемді шлангтардан және/немесе VI құбырынан, секіргіш шлангтардан, вакуумдық оқшауланған клапан жүйесінен, фазалық бөлгіштерден және динамикалық вакуумдық сорғы жүйесінен (вакуумдық сорғыларды, электромагниттік клапандарды және вакуумдық өлшегіштерді және т.б. қоса алғанда) тұрады. Бір VI икемді шлангтың ұзындығын пайдаланушының талаптарына сәйкес реттеуге болады.
11. Әртүрлі қосылым түрлері: Вакуумдық штык қосылымы (VBC) түрін және дәнекерленген қосылымды таңдауға болады. VBC түрін оқшаулауды қажет етпейді.
