Молекулалық сәулелік эпитаксия (MBE) туралы қысқаша ақпарат
Молекулалық сәулелік эпитакси (MBE) технологиясы 1950 жылдары вакуумдық булану технологиясын қолдана отырып, жартылай өткізгіш жұқа қабықшалы материалдарды дайындау үшін жасалды. Ультра жоғары вакуумдық технологияның дамуымен технологияны қолдану жартылай өткізгіш ғылым саласына да кеңейтілді.
Жартылай өткізгіш материалдарды зерттеудің мотивациясы - жүйенің жұмысын жақсартуы мүмкін жаңа құрылғыларға деген сұраныс. Өз кезегінде, жаңа материалдық технология жаңа жабдықтар мен жаңа технологияларды шығаруы мүмкін. Молекулалық сәулелік эпитакси (МСЭ) - эпитаксиалды қабаттың (әдетте жартылай өткізгіш) өсуіне арналған жоғары вакуумдық технология. Ол монокристалды субстратқа әсер ететін бастапқы атомдардың немесе молекулалардың жылу сәулесін пайдаланады. Процестің ультра жоғары вакуумдық сипаттамалары жаңадан өсірілген жартылай өткізгіш беттерде оқшаулағыш материалдардың in situ металлдануына және өсуіне мүмкіндік береді, нәтижесінде ластанудан таза интерфейстер пайда болады.
MBE технологиясы
Молекулалық сәулелік эпитаксия жоғары вакуумда немесе аса жоғары вакуумда жүргізілді (1 x 10-8Па) қоршаған орта. Молекулалық сәулелік эпитаксияның ең маңызды аспектісі - оның төмен тұндыру жылдамдығы, бұл әдетте пленканың сағатына 3000 нм-ден аз жылдамдықпен эпитаксиалды өсуіне мүмкіндік береді. Мұндай төмен тұндыру жылдамдығы басқа тұндыру әдістерімен бірдей тазалық деңгейіне жету үшін жеткілікті жоғары вакуумды қажет етеді.
Жоғарыда сипатталған аса жоғары вакуумды қанағаттандыру үшін MBE құрылғысында (Knudsen ұяшығы) салқындату қабаты бар, ал өсіру камерасының аса жоғары вакуумдық ортасын сұйық азот айналымы жүйесін пайдаланып сақтау қажет. Сұйық азот құрылғының ішкі температурасын 77 Кельвинге (−196 °C) дейін салқындатады. Төмен температуралы орта вакуумдағы қоспалардың мөлшерін одан әрі азайтып, жұқа қабықшалардың тұндырылуы үшін жақсы жағдайлар жасай алады. Сондықтан, MBE жабдығына -196 °C сұйық азотты үздіксіз және тұрақты түрде беру үшін арнайы сұйық азотты салқындату айналымы жүйесі қажет.
Сұйық азотты салқындату айналым жүйесі
Вакуумдық сұйық азотты салқындату айналымы жүйесі негізінен мыналарды қамтиды:
● криогендік бак
● негізгі және тармақтық вакуумдық қаптамамен қапталған құбыр / вакуумдық қаптамамен қапталған шланг
● MBE арнайы фазалық сепараторы және вакуумды қабықпен қапталған шығару құбыры
● әртүрлі вакуумдық қаптамамен қапталған клапандар
● газ-сұйықтық тосқауылы
● вакуумды қабықпен қапталған сүзгі
● динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі
● Алдын ала салқындату және тазарту арқылы қайта қыздыру жүйесі
HL Cryogenic Equipment компаниясы MBE сұйық азотты салқындату жүйесіне деген сұранысты байқады, MBE технологиясы үшін арнайы MBE сұйық азотты салқындату жүйесін және вакуумдық оқшаулағыштардың толық жиынтығын сәтті әзірлеу үшін техникалық негізді ұйымдастырды.edкөптеген кәсіпорындарда, университеттерде және ғылыми-зерттеу институттарында қолданылған құбыр жүйесі.
HL криогендік жабдықтары
1992 жылы құрылған HL Cryogenic Equipment компаниясы Қытайдағы Chengdu Holy Cryogenic Equipment компаниясымен байланысты бренд болып табылады. HL Cryogenic Equipment компаниясы жоғары вакуумды оқшауланған криогендік құбыр жүйесін және онымен байланысты тірек жабдықтарын жобалау мен өндіруге міндеттенеді.
Қосымша ақпарат алу үшін ресми веб-сайтқа кіріңізwww.hlcryo.comнемесе электрондық поштағаinfo@cdholy.com.
Жарияланған уақыты: 2021 жылғы 6 мамыр
