Молекулалық сәулелер эпитакссиясының қысқаша нұсқасы (MBE)
1950 жылдары молекулалық сәуле (MBE) технологиясы вакуумды булану технологиясын қолдана отырып, жартылай өткізгіштің жұқа кинофильмдерін дайындау үшін жасалды. Ультра жоғары вакуумдық технологияның дамуымен технологияны қолдану жартылай өткізгіш ғылым саласына таралды.
Жартылай өткізгіш материалдарды зерттеудің уәжі - бұл жүйенің жұмысын жақсартуы мүмкін жаңа құрылғыларға сұраныс. Өз кезегінде жаңа материалдық технологиялар жаңа жабдықтар мен жаңа технологиялар шығаруы мүмкін. Молекулалық сәулелер эпитаксиі (MBE) - эпитаксиальды қабат (әдетте жартылай өткізгіш) үшін жоғары вакуумдық технологиялар. Онда бір кристалл субстратқа әсер ететін кәдімгі атомдар мен молекулалардың жылу сәулесін қолданады. Процестің ультра жоғары вакуумдық сипаттамалары Ситуациялық металдандыруға және оқшаулағыш материалдардың өсуіне мүмкіндік береді, себебі жаңадан өсірілген жартылай өткізгіш беттерде ластанусыз интерфейстер пайда болады.
MBE технологиясы
Молекулалық сәуле эпитаксиі жоғары вакуумда немесе ультра жоғары вакуумда жүргізілді (1 x 10)-8PA) қоршаған орта. Молекулалық сәуленің эпитаксиінің маңызды аспектісі - оның төмен тұндыру деңгейі, ол әдетте фильмге эпитаксиальды болуға, сағатына 3000 нм-ге дейін өсуге мүмкіндік береді. Мұндай төмен тұндыру жылдамдығы басқа да бірдей деңгейге жету үшін жеткілікті мөлшерде вакуумды қажет етеді.
Жоғарыда сипатталған ультра жоғары вакуумды кездестіру үшін MBE құрылғысы (KnudDsen ұяшығында) салқындатқыш қабатқа ие, ал өсу камерасының ультра жоғары вакуумдық ортасы сұйық азот айналымы жүйесінің көмегімен ұсталуы керек. Сұйық азот Құрылғының ішкі температурасын 77 келвинге (-196 ° C) салқындатады. Төмен температуралық орта вакуумдағы қоспалардың құрамына одан әрі азайтылуы мүмкін және жұқа қабықтардың тұндыру үшін жақсы жағдай жасауы мүмкін. Сондықтан, MBE жабдықтары үшін арнайы сұйық азот қанық айналымы жүйесі қажет.
Сұйық азотты салқындататын айналым жүйесі
Вакуумдық сұйық азот азот айналымы жүйесі негізінен,
● Криогендік танк
● Негізгі және бұтақ вакуумдық құбыр / вакуумдық шланг
● Арнайы фазалық сепаратор және вакуумдық пиродинг құбыры
● Әр түрлі вакуумдық қапталған клапандар
● Газ-сұйық тосқауыл
● Вакуумдық қапталған сүзгі
● Динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі
● Артты және тазартатын жүйе
HL криогендік жабдықтар компаниясы MBE сұйық азот салқындату жүйесінің сұранысын байқады, MBE технологиясы үшін арнайы MBE сұйық азот жүйесін және вакуумдық инсультаның толық жиынтығын сәтті дамыту үшін техникалық омыртқаны байқадыedКөптеген кәсіпорындарда, университеттерде және ғылыми-зерттеу институттарында қолданылған құбыр жүйесі.
HL криогендік жабдық
HL криогендік жабдық 1992 жылы құрылған Chengdu қасиетті криогендік жабдықтар компаниясының Қытайдағы бренді. HL криогендік жабдық жоғары вакуумды гоогендік құбырлар мен ілеспе жабдық дизайнын және ҡндіруге дайын.
Қосымша ақпарат алу үшін ресми сайтқа кіріңізwww.hlcryo.comнемесе электрондық поштаinfo@cdholy.com.
POST уақыты: мамыр-06-2021
