Молекулярлық сәулелік эпитаксияның қысқаша сипаттамасы (MBE)
Молекулярлық сәулелік эпитаксия (MBE) технологиясы 1950 жылдары вакуумды булану технологиясын қолдана отырып, жартылай өткізгішті жұқа үлбірлі материалдарды дайындау үшін жасалған.Ультра жоғары вакуумдық технологияның дамуымен технологияны қолдану жартылай өткізгіш ғылым саласына дейін кеңейтілді.
Жартылай өткізгішті материалдарды зерттеу мотивациясы жүйенің өнімділігін арттыруы мүмкін жаңа құрылғыларға сұраныс болып табылады.Өз кезегінде жаңа материал технологиясы жаңа техника мен жаңа технологияны шығаруы мүмкін.Молекулярлық сәулелік эпитаксия (MBE) - эпитаксиалды қабаттың (әдетте жартылай өткізгіш) өсуіне арналған жоғары вакуумдық технология.Ол монокристалды субстратқа әсер ететін бастапқы атомдардың немесе молекулалардың жылу сәулесін пайдаланады.Процестің өте жоғары вакуумдық сипаттамалары жаңадан өсірілген жартылай өткізгіш беттерде оқшаулағыш материалдардың орнында металдануына және өсуіне мүмкіндік береді, нәтижесінде ластанусыз интерфейстер пайда болады.
MBE технологиясы
Молекулярлық сәуленің эпитаксисі жоғары вакуумда немесе ультра жоғары вакуумда (1 x 10) орындалды.-8Па) қоршаған орта.Молекулярлық сәулелік эпитаксияның ең маңызды аспектісі оның төмен тұндыру жылдамдығы болып табылады, бұл әдетте пленканың эпитаксиалды өсуіне сағатына 3000 нм-ден аз жылдамдықпен мүмкіндік береді.Мұндай төмен тұндыру жылдамдығы басқа тұндыру әдістерімен бірдей тазалық деңгейіне жету үшін жеткілікті жоғары вакуумды қажет етеді.
Жоғарыда сипатталған өте жоғары вакуумды қанағаттандыру үшін MBE құрылғысының (Кнудсен ұяшығы) салқындатқыш қабаты бар және өсу камерасының ультра жоғары вакуумдық ортасы сұйық азот айналымы жүйесі арқылы сақталуы керек.Сұйық азот құрылғының ішкі температурасын 77 Кельвинге (−196 °C) дейін салқындатады.Төмен температура ортасы вакуумдағы қоспалардың құрамын одан әрі азайтып, жұқа қабықшалардың тұндыру үшін жақсы жағдайды қамтамасыз етеді.Сондықтан MBE жабдығы -196 °C сұйық азотпен үздіксіз және тұрақты қамтамасыз ету үшін арнайы сұйық азотты салқындату айналымы жүйесі қажет.
Сұйық азотты салқындату циркуляциялық жүйесі
Вакуумдық сұйық азотты салқындату айналымы жүйесі негізінен мыналарды қамтиды:
● криогенді резервуар
● магистральдық және салалық вакуумды қапталған түтік / вакуумды қапшықты түтік
● MBE арнайы фазалық сепараторы және вакуумды қапшықты шығару құбыры
● әртүрлі вакуумды қапшықты клапандар
● газ-сұйықтық кедергісі
● вакуумды қапшықты сүзгі
● динамикалық вакуумдық сорғы жүйесі
● Алдын ала салқындату және тазарту жылыту жүйесі
HL Cryogenic Equipment компаниясы MBE сұйық азотты салқындату жүйесіне сұранысты байқады, MBE технологиясы үшін арнайы MBE сұйық азотты салқындату жүйесін және вакуумдық оқшаулағыштың толық жиынтығын сәтті әзірлеу үшін ұйымдастырылған техникалық магистраль.edкөптеген кәсіпорындарда, университеттерде және ғылыми-зерттеу институттарында қолданылған құбыр жүйесі.
HL криогендік жабдық
1992 жылы негізі қаланған HL Cryogenic Equipment - Қытайдағы Chengdu Holy Cryogenic Equipment компаниясына тиесілі бренд.HL криогендік жабдық жоғары вакуумды оқшауланған криогендік құбырлар жүйесін және тиісті қолдау жабдығын жобалауға және өндіруге міндеттенеді.
Қосымша ақпарат алу үшін ресми веб-сайтқа кіріңізwww.hlcryo.com, немесе электрондық поштаға жіберіңізinfo@cdholy.com.
Жіберу уақыты: 06 мамыр 2021 ж