Технология
Молекулалық сәулелік эпитаксия немесе MBE - кристалдық субстраттарда жоғары сапалы жұқа кристалды қабықшаларды өсірудің жаңа әдісі. Өте жоғары вакуум жағдайында қыздыру пеші барлық қажетті компоненттермен жабдықталған және бу шығарады, атомдық немесе молекулалық сәулені коллимациялағаннан кейін пайда болған тесіктер арқылы монокристалды субстраттың тиісті температурасына тікелей енгізіледі, молекулалық сәулені субстратқа сканерлеуді басқарады, сонымен бірге кристалды туралау қабаттарындағы молекулаларды немесе атомдарды субстратта жұқа қабықша «өсуіне» мүмкіндік береді.
MBE жабдықтарының қалыпты жұмыс істеуі үшін жоғары тазалықтағы, төмен қысымдағы және аса таза сұйық азотты жабдықтың салқындату камерасына үздіксіз және тұрақты түрде тасымалдау қажет. Жалпы, сұйық азотты беретін резервуардың шығыс қысымы 0,3 МПа мен 0,8 МПа аралығында болады. -196℃ температурадағы сұйық азот құбыр арқылы тасымалдау кезінде азотқа оңай буланып кетеді. Газ-сұйықтық қатынасы шамамен 1:700 болатын сұйық азот құбырда газданғаннан кейін, ол сұйық азот ағынының көп бөлігін алады және сұйық азот құбырының соңындағы қалыпты ағынды азайтады. Сонымен қатар, сұйық азот сақтау резервуарында тазаланбаған қоқыстар болуы мүмкін. Сұйық азот құбырында ылғалды ауаның болуы мұз шлактарының пайда болуына да әкеледі. Егер бұл қоспалар жабдыққа шығарылса, бұл жабдыққа болжанбайтын зақым келтіреді.
Сондықтан, сыртқы сақтау ыдысындағы сұйық азот шаңсыз шеберханадағы MBE жабдығына жоғары тиімділікпен, тұрақтылықпен және тазалықпен тасымалданады, ал төмен қысым, азотсыз, қоспасыз, тәулік бойы үздіксіз жұмыс істейді, мұндай тасымалдауды басқару жүйесі білікті өнім болып табылады.
MBE жабдықтарын сәйкестендіру
2005 жылдан бастап HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) компаниясы осы жүйені оңтайландырып, жетілдіріп, халықаралық MBE жабдықтарын өндірушілермен ынтымақтастық жасап келеді. DCA, REBER сияқты MBE жабдықтарын өндірушілер біздің компаниямен ынтымақтастық қарым-қатынаста. DCA және REBER сияқты MBE жабдықтарын өндірушілер көптеген жобаларда ынтымақтастық жасады.
Riber SA - қосылыс жартылай өткізгіштерді зерттеу және өнеркәсіптік қолданбаларға арналған молекулалық сәулелік эпитаксия (MBE) өнімдері мен онымен байланысты қызметтердің жетекші әлемдік жеткізушісі. Riber MBE құрылғысы өте жоғары басқару элементтерімен субстратқа өте жұқа материал қабаттарын жаба алады. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) вакуумдық жабдығы Riber SA-мен жабдықталған. Ең үлкен жабдық - Riber 6000, ал ең кішісі - Compact 21. Ол жақсы жағдайда және тұтынушылардың мойындауына ие.
DCA әлемдегі жетекші оксидті MBE болып табылады. 1993 жылдан бастап тотығу әдістерін, антиоксидантты субстратты қыздыруды және антиоксиданттық көздерді жүйелі түрде әзірлеу жүргізілуде. Осы себепті көптеген жетекші зертханалар DCA оксидті технологиясын таңдады. Композиттік жартылай өткізгіш MBE жүйелері бүкіл әлемде қолданылады. HL криогендік жабдықтарының (HL CRYO) VJ сұйық азот айналым жүйесі және DCA-ның бірнеше модельдерінің MBE жабдықтары P600, R450, SGC800 және т.б. сияқты көптеген жобаларда сәйкес тәжірибеге ие.
Өнімділік кестесі
| Қытай Ғылым академиясының Шанхай техникалық физика институты |
| Қытай электроника технологиялары корпорациясының 11-ші институты |
| Қытай Ғылым академиясының жартылай өткізгіштер институты |
| Huawei |
| Alibaba DAMO академиясы |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Сучжоу Эвербрайт фотоникасы |
Жарияланған уақыты: 2021 жылғы 26 мамыр