Чип MBE жобасы соңғы жылдары аяқталды

Технология

Молекулалық сәуленің эпитаксиі немесе MBE, кристалдардың жоғары сапалы жұқа қабықтарын өсірудің жаңа әдісі. Ультра жоғары вакуумдық жағдайларда, жылыту пештері барлық қажетті компоненттермен жабдықталған және бумен жабдықталған және бумен жабдықталған, бөренені немесе молекулалық сәуленің кесілгеннен кейін пайда болған тесіктер арқылы, бір кристаллдық субстраттың тиісті температурасы, молекулалық сәуленің тиісті температурасы Субсинг бір уақытта, ол молекулаларды немесе атомдарды кристалды туралау қабаттарында «өсу» субстратқа жұқа пленканы қалыптастыру үшін жасай алады.

MBE жабдықтарының қалыпты жұмысы үшін, жоғары тазалық, төмен қысымды және ультра таза сұйық азотты судың салқындату камерасына үнемі және тұрақты түрде тасымалдау қажет. Жалпы, сұйық азотпен қамтамасыз етілетін танкке 0,3 мм және 0,8MPA.Liық азотының арқасында - 196.00-ден 0,8 мм-ге дейін азот бар. Газ сұйықтығының шамамен 1: 700 арақатынасы бар сұйық азот құбырға газдандырылғаннан кейін, ол азотты азот ағынының көп мөлшерін алады және сұйық азот құбырының соңында қалыпты ағынды азайтады. Сонымен қатар, сұйық азотты сақтау ыдысында, тазаланбаған қоқыс болуы мүмкін. Сұйық азот құбырында ылғалды ауаның болуы мұзды қожның пайда болуына әкеледі. Егер бұл қоспалар жабдыққа шығарылса, ол жабдыққа алдын-ала болжанбайтын зиян келтіреді.

Сондықтан сыртқы ыдыста сұйық азот, шаңсыз цистернаға жоғары тиімділік, тұрақтылық және таза, азот, қоспалар, қоспалар жоқ, тәулік бойы үздіксіз, мұндай көлікті басқару жүйесі болып табылады білікті өнім.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

MBE жабдықтарын сәйкестендіру

2005 жылдан бастап HL криогендік жабдық (HL крио) осы жүйені оңтайландырады және жақсартады және халықаралық MBE жабдықтары өндірушілерімен ынтымақтастықта болды. MBE жабдық өндірушілері, соның ішінде DCA, Reber, біздің компаниямен бірлескен қатынастар бар. MBE жабдық өндірушілері, соның ішінде DCA және Reber, соның ішінде көптеген жобалармен жұмыс жасады.

Riber SA - бұл молекулалық сәулелер эпитаксиінің жетекші жаһандық провайдері (MBE) өнімдері және құрама жартылай өткізгіштік зерттеулер мен өндірістік қосымшалар үшін байланысты қызметтер. RIBER MBE құрылғысы субстратқа өте жұқа материалдарды салады, өте жоғары басқармасы бар. HL криогендік жабдықтарының вакуумдық жабдықтары (HL крио) ең үлкен жабдық - бұл ең үлкен жабдық - 6000 және ең кішісі шоптағы 21-де. Бұл жақсы жағдайда және клиенттер мойындады.

DCA - әлемдегі жетекші оксид MBE. 1993 жылдан бастап тотығу әдістерін жүйелі түрде дамыту, антиоксидантты субстрат жылыту және антиоксиданттық көздер жүргізілді. Осы себепті көптеген жетекші зертханалар DCA оксиді технологиясын таңдады. Жартылай өткізгіш MBE жүйелері бүкіл әлемде қолданылады. VJ сұйық азот айналымы HL криогендік жабдықтарының (HL крио) және DCA-ның бірнеше модельдеріндегі MBE жабдығы көптеген жобаларда, мысалы, P600, R450, SGC800 және т.б. сәйкес келеді.

TCM (2)

Өнімділік кестесі

Шанхай техникалық физика институты, Қытай ғылым академиясы
«Қытай Электроника» технологиясы корпорациясының 11-ші институты
Жартылай өткізгіштер институты, Қытай ғылым академиясы
Huawei
Alibaba Damo академиясы
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright фотоникасы

POST уақыты: мамыр-26-2021

Хабарламаңыз қалдырыңыз