Chip MBE жобасы өткен жылдары аяқталды

Технология

Молекулярлық сәулелік эпитаксия немесе MBE - кристалдардың жоғары сапалы жұқа қабықшаларын кристалдық субстраттарда өсірудің жаңа әдісі.Өте жоғары вакуум жағдайында қыздыру пеші барлық қажетті компоненттермен жабдықталған және атомдық немесе молекулалық сәулені коллимациялаудан кейін пайда болған тесіктер арқылы бу шығарады, монокристалды субстраттың тиісті температурасына тікелей айдау, молекулалық сәулені басқару субстратты бір уақытта сканерлеу, ол кристалды туралау қабаттарындағы молекулаларды немесе атомдарды субстраттың «өсуінде» жұқа қабықшаны құра алады.

MBE жабдығының қалыпты жұмыс істеуі үшін жоғары тазалық, төмен қысымды және өте таза сұйық азотты жабдықтың салқындату камерасына үздіксіз және тұрақты тасымалдау қажет.Жалпы алғанда, сұйық азотты қамтамасыз ететін резервуардың шығыс қысымы 0,3МПа мен 0,8МПа аралығында болады. -196℃ температурадағы сұйық азот құбырды тасымалдау кезінде азотқа оңай буланады.Газ-сұйықтық қатынасы шамамен 1:700 сұйық азот құбырда газдандырылғаннан кейін ол сұйық азот ағынының кеңістігін үлкен көлемде алып, сұйық азот құбырының соңында қалыпты ағынды азайтады.Сонымен қатар, сұйық азотты сақтауға арналған резервуарда тазаланбаған қоқыстар болуы мүмкін.Сұйық азот құбырында ылғалды ауаның болуы да мұз шлактарының пайда болуына әкеледі.Егер бұл қоспалар жабдыққа төгілсе, бұл жабдыққа күтпеген зақым келтіреді.

Сондықтан сыртқы сақтау резервуарындағы сұйық азот шаңсыз цехтағы MBE жабдығына жоғары тиімділікпен, тұрақтылықпен және таза түрде тасымалданады, ал төмен қысымда, азотсыз, қоспасыз, 24 сағат бойы үздіксіз, мұндай тасымалдауды басқару жүйесі болып табылады. білікті өнім.

tcm (4)
тсм (1)
tcm (3)

Сәйкес MBE жабдығы

2005 жылдан бастап HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) осы жүйені оңтайландырып, жетілдіреді және MBE жабдықтарының халықаралық өндірушілерімен ынтымақтасады.MBE жабдықтарын өндірушілер, соның ішінде DCA, REBER, біздің компаниямен ынтымақтастық қарым-қатынаста.MBE жабдықтарын өндірушілер, соның ішінде DCA және REBER, көптеген жобаларда ынтымақтасады.

Riber SA — құрама жартылай өткізгіштерді зерттеуге және өнеркәсіптік қолданбаларға арналған молекулярлық сәулелік эпитаксия (MBE) өнімдері мен тиісті қызметтерінің жетекші жаһандық жеткізушісі.Riber MBE құрылғысы өте жоғары басқару элементтері бар материалдың өте жұқа қабаттарын негізге сала алады.HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) вакуумдық жабдығы Riber SA құрылғысымен жабдықталған Ең үлкені - Riber 6000, ал ең кішісі - Compact 21. Ол жақсы жағдайда және тұтынушылар мойындады.

DCA әлемдегі жетекші оксид MBE болып табылады.1993 жылдан бастап тотығу әдістерін, антиоксидантты субстратты жылытуды және антиоксидантты көздерді жүйелі дамыту жүзеге асырылуда.Осы себепті көптеген жетекші зертханалар DCA оксиді технологиясын таңдады.Композиттік жартылай өткізгіш MBE жүйелері дүние жүзінде қолданылады.HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) сұйық азотының VJ циркуляциялық жүйесі және DCA бірнеше үлгілерінің MBE жабдығы көптеген жобаларда сәйкес тәжірибеге ие, мысалы, P600, R450, SGC800 және т.б.

tcm (2)

Өнімділік кестесі

Қытай ғылым академиясының Шанхай техникалық физика институты
Қытай электронды технологиялар корпорациясының 11-ші институты
Қытай ғылым академиясының жартылай өткізгіштер институты
Huawei
Alibaba DAMO академиясы
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Сучжоу Эвербрайт фотоникасы

Хабарлама уақыты: 26 мамыр 2021 ж